臭氧老化試驗箱中臭氧發生器按臭氧造成的方法區劃，關鍵分三種：髙壓充放電式、紫外光直射式、電解法式。

 

　　髙壓充放電式超聲波發生器:此類臭氧發生器是應用一定頻率的髙壓電流量生產制造髙壓電暈放電靜電場，使靜電場內或靜電場周邊的氧原子產生電化學腐蝕，進而生產制造三氧。這類臭氧發生器具備技術性完善、工作中平穩、使用期長、三氧生產量大(單機版達到1Kg/h)等優勢，因此是臭氧老化試驗箱使用很普遍的臭氧發生器。

 

　　紫外光式臭氧發生器：此類臭氧發生器是應用特殊光的波長(185mm)的紫外光直射氧原子，使氧原子轉化而造成三氧。因為紫外線燈管容積大、三氧生產量低、使用周期短，因此這類超聲波發生器應用范疇窄小，多見于消毒柜上應用。

 

　　臭氧老化試驗箱電解法式超聲波發生器：此類臭氧發生器其特點是選用新式PEM膜用底壓直流電通斷固態膜金屬電極的正負極兩方面電解法雙蒸水，水在獨特的陽極氧化水溶液頁面上以質子互換的方式被分離出來為氫氣分子結構，氫從負極水溶液頁面上立即被排污，氧原子在陽極氧化界面上因致密電流量，造成的電子器件激起而得到動能，并聚合物成臭氧分子結構。